前驅(qū)體是半導(dǎo)體薄膜沉積工藝的主要原材料,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)制造工藝,攜有目標(biāo)元素,呈氣態(tài)或易揮發(fā)液態(tài),具備化學(xué)熱穩(wěn)定性,同時(shí)具備相應(yīng)的反應(yīng)活性或物理性能的一類(lèi)物質(zhì)。本公司的前驅(qū)體產(chǎn)品可以用于前后端物理沉積PVD、化學(xué)氣相沉積CVD及原子氣相沉積ALD,以形成符合半導(dǎo)體制造要求的各類(lèi)薄膜層。